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                  好工藝才有好性能,真空設備工藝和環境的要求

                  好工藝才有好性能,真空設備工藝和環境的要求

                  發布時間:2021-08-12 瀏覽次數:243

                  在真空工藝應用中,真空設備需要滿足真空工藝各類參數需求。為了更好的實現這一需求,不僅對真空設備性能有要求,同時也需要環境能夠給設備提供良好的運作條件,保證設備穩定運行,好環境才有好性能。

                  我們把沒有特殊要求的真空工藝過程稱之為常規真空工藝,這類工藝對環境的要求具有一定的普遍性,主要包括以下幾點:

                  1、保證處于真空狀態或真空中的真空設備零件機器表面,沒有積存的污染源,包括塵埃、鐵屑、銹蝕等。

                  2、真空設備的真空室表面要光滑,無松軟組織和氣孔,無死空間,內焊縫無影響真空的缺陷。

                  3、高真空設備中,真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑,而要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑。法蘭、大門、觀察窗的密封部位可涂以高真空油脂。

                  4、無油超高真空系統要避免油蒸氣影響工作介質的純度、表面特性或工作性能,為具體的工藝過程提供清潔的超高真空環境。
                   

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