• <track id="0qged"><ruby id="0qged"></ruby></track>
    1. <acronym id="0qged"><label id="0qged"><xmp id="0qged"></xmp></label></acronym>

      <track id="0qged"><ruby id="0qged"><tt id="0qged"></tt></ruby></track>

      1. <big id="0qged"><strike id="0qged"></strike></big>

        專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

        咨詢電話:180-3717-8440
        真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
        咨詢產品
        • 多種國家專利

          研發實力雄厚
        • 定制經驗豐富

          強大的技術團隊
        • 十年業內經驗

          客戶信賴的品牌

        PECVD系統-等離子增強型化學氣相沉積系統

        PECVD系統-等離子增強型化學氣相沉積系統

        發布時間:2021-08-12 瀏覽次數:285
            先簡單給大家介紹下PECVD系統的概念,PECVD系統就是為了使傳統的化學氣象沉積(CVD)反應溫度降低,在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進反應,所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統(PECVD)。

            諾泰制作的混氣管式PECVD為最新款,綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點,在PECVD前端加入了氣體預熱區,實驗證明此結構沉積速度快,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發的控制系統,使得操作更加簡便,功能更加強大。
           
            當前國內PECVD鍍膜的主流為管式PECVD鍍膜法,即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進料的石英管中進行沉積。沉積的均勻性與電極和腔室的設計很有關系,另外管式PECVD的氣流是從石英管末端開始,這樣也會造成工藝氣體分布的不均勻,從而也會導致太陽能電池表面成膜的不均勻。
        管式pecvd系統

        _给丰满少妇按摩到高潮_9久精品久久综合久久超碰1_国产黄色A片