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                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                  科研型擴散氧化爐

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                  科研型擴散氧化爐

                  科研型擴散氧化爐產品特點:1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝

                  產品特點:
                  1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝
                  2、采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化;
                  3、具有友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;
                  4、具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;
                  5、具有強大的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節省維修時間;
                  6、恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度;
                  7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能; 
                  8、可根據用戶要求定制產品。
                   
                  應用范圍:
                      本設備為科研型擴散氧化爐,適用于企業研發、大學及科研院所的科研與教學??蓾M足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。
                   
                  產品參數:


                  產品名稱 科研型擴散氧化爐
                  產品型號 PT-T1300-LZ
                  工作溫度 1300℃
                  應用晶片尺寸  2~8英寸圓片
                  可配工藝管數量 1~2管/臺
                  恒溫區長度 300~600mm
                  恒溫區精度 ≤±0.5℃
                  溫度穩定性 ≤±0.5℃/24h
                  溫度斜變能力 最大升溫速率10℃/min,最大降溫速率5℃/min
                  預警 具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能
                  更多規格可根據要求來定制

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