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                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                  高真空傾斜旋轉pecvd系統

                  高真空傾斜旋轉pecvd系統

                  高真空傾斜旋轉pecvd系統

                  此高真空傾斜旋轉pecvd系統可混合1-4種氣體用于PECVD爐,廣泛用于生產高品質的SiO2薄膜等。

                  產品描述:
                      此PT-PECVD是一種分體式管式爐,直徑60mm石英管,真空泵和4通道質量流量計氣體流動系統??苫旌?-4種氣體用于PECVD爐,廣泛用于生產高品質的SiO2薄膜等。

                  技術參數:

                  型號

                  PT-PECVD

                  顯示

                  液晶觸摸屏

                  打開方式

                  分體式和上部可打開

                  限度溫度

                  1200℃短時間

                  連續工作溫度

                  ≤1100℃

                  升溫速度

                  建議:0~10℃/min(最大20℃/min)

                  溫區

                  400mm

                  加熱元件

                  含鉬電阻絲

                  熱電偶

                  K型

                  溫度控制
                  精度

                  ±1℃

                  管尺寸

                  OD60mm x 100mm x 60mm
                  管長:1600 mm

                  材質:石英管

                  溫度控制

                  通過SCR功率控制進行PID自動控制

                  加熱曲線

                  30步可編程

                  真空法蘭

                  不銹鋼真空法蘭帶閥、進出氣口
                   磁流體密封旋轉接頭

                  電壓

                  220V,50Hz,單相
                  (或根據您的要求)

                  定制功能

                  旋轉和傾斜
                  傾斜角度:0-30°(建議:0-15°)
                  管子轉速:0-10r/min
                   
                  通訊口
                  通過計算機控制溫度、質量流量、轉速和真空泵。
                   

                  輸出功率

                  5 -500W 可調,穩定性 ± 1%

                  射頻頻率

                  13.56 MHz ±0.005% 穩定性

                  反射功率

                  最大 200W

                  匹配

                  自動的

                  噪音

                  <50 分貝。

                  冷卻

                  空氣冷卻。

                  渦輪真空泵

                  極限真空2.7*10-3 Pa。

                  型號:GSP-5

                  抽速:6L/S

                  輸入電壓:500W

                  額定轉速(rpm):1800

                  分貝(A):54

                  型號:FF-620F

                  抽速:600L/S

                  額定轉速(rpm):27000

                  軸承:陶瓷軸承注油量:150ml

                  渦輪真空泵將被設計成帶輪子的推車。

                   

                  四臺精密質量流量計:

                  MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm

                  MFC 2&3:氣體流量范圍為 0~100 sccm

                  MFC 4:氣體流量范圍從 0~100sccm

                  一個氣體混合罐安裝在底殼上,帶有4個不銹鋼針

                  底殼左側裝有閥門,用于控制4種氣體的混合


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