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                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                  真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
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                  • 多種國家專利

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                    客戶信賴的品牌

                  定制CVD管式爐

                  定制CVD管式爐

                  定制CVD管式爐

                  此定制CVD管式爐包含3大部分,第一部分為標準加熱,第二部分為真空泵系統,第3部分4 路質量流量計.

                  產品介紹:

                  第一部分:標準件加熱
                  管式爐
                  顯示 LED顯示屏(電腦控制)
                  極限溫度 1200
                  連續溫度       ≤1100℃
                  溫區 150*200*150mm(3區)
                  獨立溫控
                  熱電偶 K型
                  溫度精度  ±1℃
                  管尺寸 160x 1000mm (OD x minimum L)
                  150mm(ID±2mm) 厚度 5mm
                    材質:石英管
                  溫度控制 通過 SCR 功率
                  控制進行PID 自動控制
                  加熱曲線 30步可編程
                   
                  安全元件
                  過溫報警 過流保護 開門時斷電
                  熱電偶斷線指示

                  真空法蘭
                  一側為帶閥門的不銹鋼水冷真空法蘭,另一側為水冷鉸鏈式真空法蘭。
                  包括氣動開關閥,與 PSV 和 MFC 相連(當壓力超過 1 bar 時,MFC 和爐子都應關閉,PSV 釋放
                  高壓。
                  三通閥 一個用于 KF25 真空閥
                  第二個用于 1/8” 閥門
                  第三個用于 1/2” 閥門(到鼓泡器)
                  電源供應 380V 50/60Hz 三相
                  輸出功率 基于最終設計

                  第二部分 真空泵系統
                  真空泵 VRD-8旋片泵抽速2.2L/s真空泵+擋板閥
                  真空度:-0.1mpa(相對壓力)
                  第 3 部分 4 路質量流量計
                    
                  4路質量流量計(電腦控制)
                  四個精密質量流量計:
                  MFC1: 0 to 2000 sccm, Accuracy ±-1.5%FS H2 MFC2: 0 to 2000 sccm Accuracy ±-1.5%FS CO2
                  MFC3: 0 to 2000sccm Accuracy ±-1.5%FS CH4 MFC4: 0 to 200 sccm
                  精度 ±-1.5%FS Ar4 不銹鋼針閥安裝在底殼左側,用于手動控制 4 種氣體混合
                  MFC 可在計算機上控制。
                  混合氣體在流入爐管前會被預熱到100-200C。
                  SS 螺旋管 

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