<p id="nh8ut"></p>
    1. <p id="nh8ut"><label id="nh8ut"><menu id="nh8ut"></menu></label></p>
      <p id="nh8ut"><del id="nh8ut"><menu id="nh8ut"></menu></del></p>

          <tr id="nh8ut"></tr>
          <track id="nh8ut"></track><pre id="nh8ut"><s id="nh8ut"></s></pre>
                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

                  咨詢電話:180-3717-8440
                  真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
                  咨詢產品
                  • 多種國家專利

                    研發實力雄厚
                  • 定制經驗豐富

                    強大的技術團隊
                  • 十年業內經驗

                    客戶信賴的品牌

                  高真空PECVD系統

                  高真空PECVD系統

                  高真空PECVD系統

                  諾泰高真空PECVD系統是由管式爐,真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。系統主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。

                  產品概述:
                     諾泰高真空PECVD系統是由管式爐,真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。系統主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。PECVD系統增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高等優點。

                  高真空PECVD系統主要特點

                  1.通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

                  2.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

                  3.可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

                  4.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

                  5.廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

                  技術參數:

                  產品名稱

                  高真空PECVD系統

                  滑軌管式爐部分

                  產品型號

                  PT-T1200

                  爐管尺寸

                  Φ50mmX1600mm

                  爐管材質

                  石英管

                  加熱區

                  300mm

                  工作溫度

                  1100℃

                  最高溫度

                  1200℃

                  溫控方式

                  K型熱電偶

                  控制方式

                  觸屏控制,帶獨立搖臂,可以根據實際使用需求,調節溫控屏的角度,使用更方便

                  控溫精度

                  ±1℃

                  溫控保護

                  具有超溫和斷偶保護功能

                  升溫速率

                  0-20ºC/min  ,建議10ºC/min

                  加熱元件

                  含鉬電阻絲

                  工作電壓

                  AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

                  加熱功率

                  3KW

                  爐膛材料

                  氧化鋁多晶纖維

                  爐體結構

                  爐體帶滑軌,可實現快速升溫和降溫

                  法蘭接頭

                  標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥

                  密封系統

                  該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。

                  殼體

                  不銹鋼殼體

                  選配

                  輔助降溫風扇

                                       真空系統部分

                  名稱

                  真空系統

                  主要參數

                  1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa

                  2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;

                  3.數字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高

                  氣路系統部分

                  名稱

                  四路質量流量計

                  主要參數

                  四通道精密質量流量計:觸屏控制,數字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍:

                  1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調

                  2.一個混氣罐

                  3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體;

                  4.進出氣口:3進1出

                  流量控制:手動旋轉式調節

                  連接方式:雙卡套連接

                  等離子電源部分

                  名稱

                  500W等離子電源

                  功率范圍

                  0-500W(連續可調)

                  工作頻率

                  13.56MHZ+0.005%

                  工作模式

                  連續輸出

                  射頻輸出阻抗接口

                  N-type,female(50Ω)

                  功率穩定度

                  ≤2W

                  最大反射功率

                  70W

                  電源保護設置

                  DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

                  供電電壓/頻率

                  單相交流(187V-253V)50-60HZ

                  冷卻方式

                  風冷

                  整機尺寸

                  88X483X550 MM

                  整機重量

                  13.5KG

                  認證

                  ISO認證、CE認證

                  售后服務

                  質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

                  高真空pecvd系統
                  少妇挑战三个黑人惨叫4P国语_国产啪精品视频网站免费_无码裸模视频在线观看欣赏网_久久激情五月丁香伊人