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                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                  真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
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                    客戶信賴的品牌

                  定制CVD系統

                  定制CVD系統

                  定制CVD系統

                  產品概述: 該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料

                  產品概述:
                      該定制CVD系統是以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。
                  技術參數:

                  產品名稱

                  定制CVD系統

                  產品型號

                  PT-CVD-DZ

                  立式管式爐

                  爐膛模式

                  立式開啟式

                  爐膛材料

                  進口氧化鋁耐火纖維

                  加熱元件

                  優質硅碳棒

                  極限溫度

                  1400℃

                  工作溫度

                  ≤1300℃

                  升溫速率

                  ≤20℃(建議:15℃/min)

                  加熱溫區

                  單溫區、多溫區

                  溫區總長度

                  200、300、440

                  爐管材質

                  高純石英管、剛玉管

                  爐管直徑

                  40、50、60、80、100mm......

                  密封方式

                  304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)  

                  控制模式

                  多段智能PID程序控溫  預留通訊接口

                  控溫精度

                  ±1℃

                  溫度曲線

                  多段"時間—溫度曲線"任意可設

                  測溫元件

                  K型熱電偶

                  氣路系統

                  工作電壓

                  220V/50HZ

                  最大輸出功率

                  18W

                  工作溫度

                  5--45℃

                  氣體通道

                  可同時連接多種氣源

                  流 量 計

                  質量流量計

                  A路量程  

                  0~500SCCM

                  B路量程 

                  0~500SCCM

                  C路量程  

                  0~500SCCM

                  .....

                   .....

                  氣路壓力

                  -0.1~0.15 MPa

                  截止閥

                  不銹鋼材質

                  氣體連接管

                  1/4不銹鋼管

                  數顯真空計及連接件

                  數顯真空計  

                  數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上

                        真空泵組(相關連接配件)

                  真空泵

                  真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ

                  認證

                  ISO認證、CE認證

                  售后服務

                  質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

                  定制cvd系統
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