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                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                  真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
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                  • 多種國家專利

                    研發實力雄厚
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                    客戶信賴的品牌

                  高溫PECVD系統

                  高溫PECVD系統

                  高溫PECVD系統

                  高溫PECVD系統(等離子增強化學氣相沉積),由RF等離子源,管式爐,帶氣體混合罐的多通道氣體流量計和高質量的機械泵組成。

                  產品概述:

                  高溫PECVD系統(等離子增強化學氣相沉積),由RF等離子源,管式爐,帶氣體混合罐的多通道氣體流量計和高質量的機械泵組成。PECVD設備是理想并且價格合理的工具,用于沉積薄膜或將納米線從氣態(蒸氣)生長到固態。


                  產品特點:

                  1.可用于1200°C,1400°C,1600°C的工作溫度

                  2.熱區長度,單區300、400或440毫米 

                  3.PID自動控制
                   

                  標準配件:

                  4路質子流量計 真空系統 射頻電源

                  質子流量計×1

                  真空系統×1 射頻電源×1
                  氣煉石英爐管 真空法蘭 熱電偶
                  氣煉石英爐管×1 真空法蘭×1 防燙罩×2
                  高溫手套 坩堝鉤 熱電偶
                  高溫手套×1 坩堝鉗×1 熱電偶×1
                  剛玉坩堝 爐塞 馬弗爐中文說明書
                  剛玉坩堝×2 爐塞×2 中文說明書×1

                  技術參數:

                  高溫PECVD系統
                  加熱區長度 440mm(更多規格可按照客戶要求定制)
                  正常工作溫度 1100℃(可選)
                  最高溫度 1200℃(最高可選1600℃)
                  溫控精度 ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能)
                  控溫方式 智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)
                  真空系統
                  高真空分子泵組,高真空復合真空計 前級泵2升每秒,分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接
                  質子流量計
                  高精度質量流量計可準確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-500SCCm 誤差為0.02% 出氣真空壓力表,內置氣體混氣系統, 不銹鋼針閥計管道,標準雙卡套接頭
                  射頻電源系統
                  輸出功率 50-500W最大可調±1%
                  RF頻率 13.56MHz,穩定性±0.005%
                  冷卻 風冷
                  輸入功率 1KW AC 220V
                  電氣認證 CE認證
                  售后服務 12個月質保、終身保修
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