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                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                  真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
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                  • 多種國家專利

                    研發實力雄厚
                  • 定制經驗豐富

                    強大的技術團隊
                  • 十年業內經驗

                    客戶信賴的品牌

                  1200℃化學氣相沉積設備

                  1200℃化學氣相沉積設備

                  1200℃化學氣相沉積設備

                  化學氣相沉積設備 由2或3.14O.D可選分流管爐,帶氣體混合罐的4通道精密質量流量計和高質量機械泵組成。

                  產品概述:

                  化學氣相沉積設備由2或3.14O.D可選分流管爐,帶氣體混合罐的4通道精密質量流量計和高質量機械泵組成。

                  這款化學氣相沉積金剛石機器CVD爐是沉積薄膜或將納米線從氣態(蒸氣)變成固態的理想且價格合理的工具,其優點是:

                  1.與常規CVD相比,溫度處理更低。

                  2.膜應力可以通過高頻/低頻混合技術來控制。

                  3.通過工藝條件控制化學計量。

                  4.提供廣泛的材料沉積,包括SiOx,SiNx,SiOxNy和非晶硅(a-Si:H)沉積。
                   

                  產品特點:

                  1.爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維,有效隔熱 ,節能;

                  2.進口加熱元件,大大提高其使用壽命,高密度進口氧化鋁管子,經久耐用,不易折斷;

                  3.預留真空,氣路快速接口,可配合我們的真空系統或混合系統使用;

                  4.超溫報警及停電,漏電保護,運行安全可靠。

                  5.根據您的要求提供智能的空氣泄漏測試儀/氣體泄漏報警系統。


                  化學氣相沉積應用:

                  這款化學氣相沉積金剛石機器CVD爐廣泛用于1200℃下各種CVD實驗反應溫度,也可用于真空燒結,真空保護氣氛燒結納米材料制備,電池材料制備等研究領域。

                  分體式爐 

                   

                  1200C化學氣相沉積機CVD爐

                  輸入功率:208 – 240V AC,1.2kW

                   

                  最高1700°C 工作溫度<60分鐘

                   

                  最高1600°C連續加熱

                   

                  高純度石英管2“ OD x 1.7” ID x 39.4“長度 

                   

                  30段可編程精密數字溫度控制器

                  8英寸(200毫米),單個區域。2.3英寸(60毫米)  

                  溫度計

                   

                  1200C化學氣相沉積機CVD爐

                     

                        30段PID自動智能溫度控制

                   

                        溫度精度可達uo +/- 1C

                   

                        溫升迅速冷卻空冷或水冷系統

                  真空法蘭和配件

                   

                  1200C化學氣相沉積機CVD爐

                  真空法蘭套件由304不銹鋼制成。 

                   

                  左法蘭組件包括一個KF-25真空端口,兩個KF-25 

                  快速夾緊。

                   

                  一個KF-25直角閥,一個KF-25真空波紋管,一個法蘭 

                  支持1/4 OD  軟管接頭和針形閥。

                   

                  真空泵 

                  1200C化學氣相沉積機CVD爐

                  交流220V 50 Hz 1 / 2HP 375W

                   

                  2升/ S或120升/米 

                   

                  已安裝集油器(入口)和排氣過濾器(出口)。

                  保證 

                  一年有限保修,提供技術支持

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