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                1. 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                  四路高溫真空CVD涂層設備

                  四路高溫真空CVD涂層設備

                  四路高溫真空CVD涂層設備

                  四路高溫真空CVD設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計

                  產品概述:

                          四路高溫真空CVD設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計,可以對多種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。 KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

                  適用范圍:

                         四路高溫真空CVD設備是一種特殊的高真空CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、CVD涂層、真空退火用的理想產品。

                  標準配件:

                  氣煉石英爐管

                  4路質子流量計

                  熱電偶

                  氣煉石英爐管×1

                  浮子混氣系統×1

                  真空系統×1

                  高溫手套

                  坩堝鉤

                  熱電偶

                  高溫手套×1

                  坩堝鉗×1

                  熱電偶×1

                  剛玉坩堝

                  爐塞

                  馬弗爐中文說明書

                  剛玉坩堝×2

                  爐塞×2

                  中文說明書×1

                  注:爐管、坩堝可按用戶需求選配合適的款型

                   

                  產品名稱

                  四路高溫真空CVD設備

                  產品型號  

                  PT-T1200-S60K-4C

                  工作溫度         

                  1100℃(可選)

                  最高溫度

                  1200℃(最高可選1700℃)

                  加熱  區

                  三溫區(可定制)

                  加熱區長度                          

                  200+350+200mm(可根據需求定制)

                  加熱速率

                  建議:0- 10°C/min {最大:0-20℃/min}

                  溫控精度

                  ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能)

                  加熱元件

                  摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其最大程度延長使用壽命)

                  加熱速率

                  0~20 ℃ / 分

                  工作電壓                       

                  220V,50HZ,單相

                  功         率

                  4KW

                  控溫方式

                  智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

                  質子流量計  

                  4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控制。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 。
                   氣路:4路 流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套 一個混氣罐。 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量。

                  電氣認證

                  CE認證

                  售后服務

                  12個月質保、終身保修

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